集成电路制造工艺

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主讲老师:牟洪江 谢亚伟 张海磊 曹艳 孙丽莉 

分类:电子信息

课程可见性:公共

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       简介

    本课程可作为高职高专微电子及电子信息类专业的教学使用也可作为有关技术人员学习集成电路制造工艺的参考 本课程介绍了集成电路的基本概念和背景知识系统介绍了半导体材料硅平面工艺流程封装测试等内容力求通俗易懂突出实用性和可操作性重点放在基本概念和基本方法的讲解上并配有大量图片同时针对初学者易出现的问题进行重点讲解

       目录
    集成电路概述展开
    半导体材料制备展开
    集成电路制造工艺概况展开
    集成电路的沾污控制展开
    氧化工艺展开
    化学气相淀积展开
    光刻工艺展开
    刻蚀工艺展开
    杂质分布影响展开
    掺杂工艺展开
    金属化工艺展开
    平坦化工艺展开
   教师团队
吕坤颐
课程编辑者
 
牟洪江
主讲教师
 
谢亚伟
主讲教师
 
张海磊
主讲教师
 
曹艳
主讲教师
 
孙丽莉
主讲教师
 
   评价
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